Исследование структурно-фазового состояния многокомпонентных нанокомпозитных покрытий системы Al-Cr-Si-Ti-Cu-N в зависимости от режимов синтеза

摘要

применением методов просвечивающей электронной микроскопии изучено влияние режимов ионно-плазменного синтеза на особенности микроструктуры и фазового состава покрытий системы Al-Cr-Si-Ti-Cu-N. Установлено, что в процессе синтеза образуются сложные многокомпонентные наноструктурные композиты. Выявлено, что использование постоянного типа напряжения смещения обеспечивает формирование нанокристаллитов равноосной формы. Повышение напряжения смещения приводит к увеличению размеров структурных элементов.